良率提升至99.2%：航裕直流电源晶圆厂案例解析

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良率提升至99.2%：航裕直流电源晶圆厂案例解析

信息来源：时间：2026-07-06 07:27:56 浏览次数:-

案例背景：头部晶圆厂面临的工艺升级瓶颈

一家国内头部半导体晶圆制造企业，专注于高端晶圆加工生产，随着工艺迭代升级，原有电镀电源逐渐无法满足生产需求：原有设备输出稳定性不足，导致晶圆镀层厚度偏差超过5%，生产良率偏低，同时设备无法实现多通道独立控制，难以支撑多晶圆同步生产，生产效率难以提升，成为企业工艺升级的主要障碍。

解决方案：航裕HY-EPS电镀电源精准适配需求

适配半导体电镀场景的专用设计

经过多方案对比，企业最终选择了深圳市泰勤科技提供的航裕HY-EPS系列电镀电源。该产品专为半导体高端电镀工艺设计，支持双独立隔离通道输出，具备高精度恒流控制、DC/脉冲/脉冲反向多种输出模式，上升/下降时间≤30μs，可同时调控多个阳极与阴极的沉积过程，完美匹配多晶圆同步生产的需求。

核心技术解决核心痛点

航裕HY-EPS系列电镀电源依托航裕直流电源的高精度控制技术，输出电流精度可达0.01%，能够精准调控每个通道的镀层生长过程，从技术层面解决了传统电源镀层均匀性差的问题。同时，设备支持灵活的系统集成，可无缝对接企业现有产线，无需对原有生产流程进行大规模改造，大幅缩短了升级改造周期。

落地成果：良率大幅提升年节省成本超200万

方案落地后，企业很快收获了显著的量化收益：

晶圆镀层厚度偏差从5%以上控制到1.5%以内，镀层均匀性得到大幅改善；
生产良率提升至99.2%，不合格品损失大幅降低；
单批次生产时间缩短25%，整体生产效率得到有效提升；
每年可节省生产成本超过200万元，投资回报周期大幅缩短。

“航裕直流电源的高精度输出和多通道控制能力，解决了我们困扰很久的工艺痛点，帮助我们顺利完成了新工艺的量产认证，为后续扩产打下了坚实基础。”——该企业项目负责人

基于此次升级的良好效果，企业后续进一步扩大了航裕直流电源的采购规模，将该方案推广到更多产线。

案例启示：工艺升级离不开高品质电源支撑

在半导体制造领域，前端制程的每一个细节都直接影响最终产品的良率与成本，电镀环节作为晶圆生产的关键工序，对电源的精度、稳定性和控制能力都有着极高要求。传统电源因性能不足，往往成为企业工艺升级的短板。

航裕直流电源围绕半导体等高端制造领域的细分需求，开发针对性的专用电源产品，凭借高精度输出、灵活的多通道控制能力，帮助客户突破工艺瓶颈，实现良率与效率的双重提升，这正是该案例带来的核心启示。

对于同样面临电镀工艺稳定性不足、良率提升瓶颈的半导体制造企业而言，这家晶圆厂的成功升级提供了具有参考价值的范本。深入了解航裕直流电源的行业解决方案，或许是开启自身工艺升级之旅的第1步。

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本文标签：航裕直流电源

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