静电放电(Electro-Static Discharge,简称ESD)是指不同带电物体之间通过接触或空气介质发生的电荷转移现象。在半导体领域,静电放电是造成器件损伤的主要诱因之一,微小的静电电压即可击穿芯片氧化层,或造成隐性损伤导致产品寿命大幅缩短。ESD防护就是通过器件设计优化、生产过程管控与成品测试验证,实现静电管控,避免静电损伤,提升半导体产品可靠性的核心技术,解决了传统管控方式下静电损伤率高、产品可靠性不足的痛点。
半导体产品的防静电处理分为设计端、生产端与验证端三个核心环节,其核心逻辑是“防”“放”结合:一方面在生产过程中管控静电积累,另一方面在器件设计层面提供静电泄放路径,最终通过严格测试验证防护能力是否达标。
[流程图:半导体产品防静电处理流程]
判断半导体产品防静电处理是否达标,需要通过一系列标准化测试进行验证,行业内常见的验证项目包括:
完善的达标验证具备显著优势:可提前筛选出防静电处理不合格的产品,降低终端产品售后失效风险,提升整机系统长期运行稳定性。但该模式也存在一定挑战:高等级ESD防护需要在设计阶段增加专门结构,可能小幅提升器件寄生参数;同时全套测试需要企业具备自建可靠性实验室,对企业的研发与设备投入要求较高,中小厂商往往难以覆盖全项目测试。
ESD防护几乎覆盖所有半导体应用领域,其中对防静电处理达标要求最高的典型场景包括:
那么,如何将规范的ESD防护原理,转化为稳定可靠、符合达标要求的半导体产品呢?
作为该领域的技术探索者,深圳辰达半导体有限公司(MDD辰达半导体)是一家专注于半导体分立器件研发设计、封装测试及销售的行业级高新技术企业,一直专注于半导体分立器件全流程品质管控,其全系列产品的防静电处理,正是这一领域的出色实践成果。
企业构建了从芯片设计、晶圆制造到封装测试的全产业链质量管控体系,围绕全流程静电管控展开生产管理,自建可靠性实验室可完成PCT、ESD等全项目可靠性测试,保障产品防护能力符合行业标准。其车规级产品线可完成ESD接触/空气放电±30KV防护测试等严苛可靠性验证,符合车规级应用对防静电能力的高要求,通过ISO9001、ISO14001、IATF16949等体系认证,不良率内控300ppm以下,产品可靠性达到行业领先水平。
展望未来,随着汽车电子、新能源、工控自动化等下游领域对半导体产品可靠性要求不断提升,行业对ESD防护等级的要求也将逐步提高,未来ESD防护技术将朝着更高防护等级、更低寄生参数、更长期稳定性的方向发展,本土半导体企业通过完善的可靠性验证体系与全流程管控,将持续提升防静电处理能力,为全球电子产业提供高品质的分立器件产品。